비디오 측정 시스템(VMS)에서 교정 표준의 선택 및 사용은 측정 정확도와 장기 안정성에 직접적인 영향을 미칩니다. 유리 스케일과 격자 스케일은 일반적으로 사용되는 두 가지 교정 요소입니다. 두 가지 모두 길이 기준을 설정하고 시스템 오차를 보정하지만, 구조, 작동 원리, 적용 시나리오 및 유지보수 요구 사항에서 상당한 차이가 있습니다. 본 논문에서는 기술적 특징, 적용 분야, 교정 내용, 유지보수 및 일반적인 사용 사례를 다루며 이러한 차이점을 자세히 분석합니다.
1. 응용 프로그램 차이점
유리 저울과 격자 저울은 다양한 측정 치수에 초점을 맞춥니다.
유리 스케일: 주로 픽셀 보정 및 2D 기하학적 보정에 사용되며, 시각적 보정 및 시야(FOV) 균일성 검증에 적합합니다. 고대비 에칭 라인은 픽셀 단위의 이미지 정확도 보정을 가능하게 합니다.
격자 스케일: 주로 플랫폼 선형 정확도 및 장거리 반복성에 사용되며, 대형 스트로크 VMS 및 기계적 스테이지 오차 보정에 이상적입니다. 주기적인 라인은 정밀한 선형 변위 측정을 제공하여 장거리 이동 범위에서 정확한 위치 결정을 보장합니다.
예: 100×100mm 측정 스테이지에서 ±2μm의 선형 정확도 검증이 필요한 경우, 격자 스케일이 더 나은 정밀도와 안정성을 제공합니다. 렌즈 왜곡, 픽셀 크기 또는 FOV 균일도 교정의 경우, 유리 스케일이 더 정확한 광학 기준을 제공합니다.
2. 교정 내용
픽셀 보정
픽셀의 물리적 크기를 결정합니다.
Glass Scale: 로컬 픽셀 크기 측정에 사용
격자 스케일: 넓은 영역에 대한 픽셀 일관성 검증에 사용됨
기하학적 교정
렌즈 수차와 왜곡을 보정합니다.
유리 스케일: 균일한 에칭 라인으로 왜곡 모델 생성 가능
격자 스케일: 왜곡 분석에 적합하지 않음; 주로 선형 변위 보정에 사용됨
플랫폼 선형성 및 반복성 검증
장거리 위치 정확도를 개선하기 위해 선형 오류 보정 테이블을 생성합니다.
격자 스케일: 다양한 위치에서 변위 데이터 수집에 적합한 안정적인 주기적 선
3. 유지관리 및 사용 요구사항
1. 청소 및 유지 관리
보푸라기 없는 천과 무수 알코올을 사용하여 유리 표면을 청소하십시오.
저울에 강한 용매나 딱딱한 물체가 닿지 않도록 하세요.
압축공기를 직접 불어넣지 마세요
2. 보관
열팽창/수축을 방지하기 위해 일정한 온도의 환경에 보관하십시오.
충격 방지 용기를 사용하세요
직사광선과 자외선 노출을 피하세요
3. 사용 참고 사항
측정 전 교정 표준과 장비의 온도가 동일한지 확인하십시오.
위치 안정성을 확보하기 위해 고정 장치나 스테이지를 활용하세요
이미지 왜곡을 방지하려면 기울임이나 정렬 오류를 피하십시오.
4. 일반적인 응용 프로그램 예
예제 1: 5× 렌즈를 사용한 2D 평면 교정
픽셀 보정 및 FOV 왜곡 보정을 위해 유리 스케일을 사용하세요.
PCB, 정밀 스탬핑 부품 및 모바일 장치 구성 요소에 적합
예제 2: 300mm XYZ 스테이지의 선형 보상
격자 스케일을 사용하여 스테이지의 여러 위치를 샘플링합니다.
오류 보정 테이블 생성
장거리 고정밀 측정을 위한 정밀 고정구, 반도체 캐리어 및 금속 부품에 적합
5. 결론
유리 저울과 격자 저울은 비디오 측정 시스템에서 서로 다른 기능을 수행합니다.
유리 스케일: 광학적 보정, 픽셀 크기 및 왜곡 보정 보장
격자 스케일: 기계적 변위 교정은 장거리 스테이지의 선형 정확도와 반복성을 보장합니다.
실제 엔지니어링 응용 분야에서는 이 두 가지를 결합하여 포괄적인 광학적 및 기계적 정확도를 달성합니다. 교정 표준의 적절한 선택과 유지 관리는 장기적인 시스템 안정성과 신뢰성을 보장하는 데 필수적입니다.